五(二甲氨基)钽
产品类别:
催化剂及助剂/催化剂/其它工业催化剂英文名称:
Tantalum pentakis(dimethylamide)CAS NO:
19824-59-0分 子 量:
401.3266EC NO:
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暂无数据结 构 式:
中文名：五(二甲基氨基)钽(V)
外文名：Pentakis (dimethylamino) tantalum
化学式：Ta[N(CH3)2]5
分子量：401.33
CAS号：19824-59-0
熔点：100ºC
沸点：6.1ºC
外观：橙色晶体
存储条件：室温保存
| 品名: | 五(二甲氨基)钽 |
|---|---|
| 用途: | 五(二甲基氨基)钽(V)可以催化C-N键的形成；选择性催化合成更高立体选择性的手性药物；在酶催化反应中提供额外的氧源，提高反应效率和稳定性；作为新型载体材料，调节催化剂的理化性质，实现药物的传递和释放；在薄膜沉积领域，可用于沉积TaN，广泛应用于半导体后工艺中铜互连技术中作为扩散阻挡层；45nm以下CMOS工艺中作为金属栅极材料使用；可用于半导体器件的电极部分的制造；用于制备Ta2O5，作为动态随机存储器(DRAM)、减反膜、高温阻抗、气敏传感器、电容器、高折射低色散特种光学玻璃的关键材料；用于光伏电池正 |
| 别名 | 五(二甲氨基)钽 |